SENS4真空傳感器VPM-7 SmartPirani ATM

品　　牌：SENS4
型　　號(hào)：VPM-7 SmartPirani ATM
技術(shù)資料： SEN4真空傳感器VPM-7 SmartPirani ATM.pdf
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產(chǎn)品介紹

VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器專為半導(dǎo)體負(fù)載鎖壓力控制以及其他需要準(zhǔn)確測量相對于大氣環(huán)境壓力的壓力的真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。與傳統(tǒng)的負(fù)載鎖傳感器和其他負(fù)載鎖傳感器解決方案相比，它具有更高的性能，測量范圍更廣、精度更高、測量周期更短。SmartPirani ATM 將熱導(dǎo)率皮拉尼熱損耗真空計(jì)的可用測量范圍擴(kuò)展了 1-3 個(gè)數(shù)量級(jí)，樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

性能特點(diǎn)

一體化多傳感器變送器解決方案
測量和控制負(fù)載鎖定過程：VPM-7 SmartPirani ATM 專為真空氣體壓力測量和控制而設(shè)計(jì)。多種輸出選項(xiàng)可提供除壓力測量信號(hào)之外的更多功能。
模擬輸出：模擬輸出電壓提供用于外部監(jiān)測或控制的信號(hào)。VPM-7 提供每十倍頻程 1 VDC 的標(biāo)準(zhǔn)電壓輸出，單位為毫巴 (mbar)、托 (Torr) 或帕斯卡 (Pa)。
數(shù)字接口：RS-232 和 RS-485 串行接口便于將壓力和溫度測量數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備。
耐腐蝕傳感器：通常情況下，負(fù)載鎖裝置環(huán)境清潔，不含腐蝕性氣體。然而，可選的耐腐蝕傳感器使得 VPM-7 SmartPirani ATM 能夠應(yīng)用于存在腐蝕性化學(xué)品或殘留蝕刻氣體的場合。
其他供應(yīng)商即插即用兼容性：VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器可直接替換傳統(tǒng)的負(fù)載鎖定真空傳感器。
定制設(shè)置：VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器可根據(jù)具體應(yīng)用需求進(jìn)行定制，使其能夠立即投入特定設(shè)備配置中使用。預(yù)配置選項(xiàng)包括測量范圍、真空壓力單位、設(shè)定點(diǎn)配置和輸出信號(hào)縮放。定制單元將被分配一個(gè)零件編號(hào)，以便日后輕松重新訂購。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地	丹麥
測量范圍	1×10^-6至 1333 mbar (7.5×10^-7至 1000 托)
測量原理（1×10^-6至 1.5 mbar）	MEMS 皮拉尼熱導(dǎo)率
測量原理（1.5 至 2 mbar）	MEMS 皮拉尼/壓電混合讀數(shù)
測量原理（2 至 1333 mbar）	MEMS 壓阻膜片
精度（1×10^-5至 9.99×10^-5	讀數(shù)的 25%
精度（1×10^-4至 7.99 mbar）	讀數(shù)的 5%
精度（8.00 至 99.9 mbar）	讀數(shù)的 1%
精度（100 至 800 mbar）	讀數(shù)的 0.5%
精度（800 至 1099 mbar）	讀數(shù)的 0.25%
精度1100 至 1333 mbar	讀數(shù)精度 0.5%
1×10^-3至 10 mbar（ISO19685:2017）滯后	1%
10 至 1333 mbar（ISO19685:2017）滯后	0.1%
模擬輸出分辨率	16 位 (150 μV)
模擬輸出更新頻率	124 Hz
響應(yīng)時(shí)間（ISO 19685:2017）	<20 ms
溫度補(bǔ)償	+10 至 +50 °C
固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍	5×10^-6至 1333 mbar (3.75×10^-6至 1000 Torr)
固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值	50 V，100 mArms / mADC
工作環(huán)境溫度	-20 至 +50 °C
介質(zhì)溫度	-20 至 +50 °C
存儲(chǔ)環(huán)境溫度	-40 至 +120 °C
烘烤溫度（非工作狀態(tài)）	+120 °C
介質(zhì)壓力	10 bar abs.壓力
安裝位置	任意
防護(hù)等級(jí)，EN 60529/A2:2013	IP40
濕度，IEC 68-2-38	98%，無冷凝
外殼	SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁合金 6061
真空工藝法蘭（介質(zhì)接觸面）	SS 1.4401 / AISI 316
真空暴露材料（介質(zhì)接觸面）標(biāo)準(zhǔn)版	316 不銹鋼、科瓦合金、玻璃、硅、鎳、鋁、二氧化硅、氮化硅、金、氟橡膠、低揮發(fā)性環(huán)氧樹脂、焊料、RO4305
真空暴露材料（介質(zhì)接觸面）聚對二甲苯保護(hù)版	316不銹鋼、氟橡膠、聚對二甲苯
真空暴露材料（介質(zhì)接觸）陶瓷保護(hù)型	316不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁陶瓷（Al?O?）
工藝泄漏密封性	<1×10^-9mbar·l/s
平均故障間隔時(shí)間 (MTBF)	13,092,170 小時(shí)
故障率 (FIT，其中時(shí)間=10×10?小時(shí))	76.38

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體

物理氣相沉積涂層

質(zhì)譜儀

空間模擬

電子顯微鏡

爐子

SENS4真空傳感器VPM-7 SmartPirani ATM

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產(chǎn)品應(yīng)用

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