新型耐腐蝕 MEMS PIRANI 真空傳感器帶來模式轉(zhuǎn)變
幾十年來,MEMS Pirani 傳感器一直被用于許多不同的真空應(yīng)用中,以測量和控制真空氣體壓力。MEMS Pirani 技術(shù)有很多優(yōu)點(diǎn),但到目前為止,由于其暴露在外的材料,該技術(shù)的使用和適用范圍受到了限制。半導(dǎo)體行業(yè)常用的腐蝕性氣體和侵蝕性蝕刻工藝會損壞傳統(tǒng)的 MEMS Pirani 傳感器,因此電容式隔膜真空計(jì)和對流式 Pirani 真空計(jì)一直是半導(dǎo)體工藝暴露和其他惡劣環(huán)境下的理想選擇。