SENS4真空傳感器VPM-7

VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器專為半導體負載鎖定壓力控制和其他需要準確測量相對于大氣環境壓力的真空應用而設計。與傳統的負載鎖定傳感器和其他負載鎖定傳感器解決方案相比，它具有同類更高的性能，測量范圍更廣、精度更高、測量周期更快。SmartPirani ATM 基于一項正在申請許可的技術，該技術將導熱性皮拉尼熱損失真空計的可用測量范圍擴大了 1-3 倍，從而確立了新的標準。 一體化多傳感器傳感器解決方案，VPM-7 是一款多傳感器傳感器，具有四個壓力輸出，結合了氣壓環境傳感器、寬量程熱損耗皮拉尼真空計、膜片傳感器和相對于大氣壓力的信號，可優化現代負載鎖定真空室的壓力控制。隔膜傳感器的讀數不受氣體影響，Abs壓力范圍為 2 至 1333 mbar。

超寬測量范圍達 9 個量程

準確的大氣開關功能

可靠的固態繼電器控制

氣壓環境壓力測量

0-10 VDC 可編程電壓輸出，可與其他供應商仿真

數字 RS-232 或 RS-485 接口

StableZero 漂移補償

可直接替換 MKS 901P

用于診斷的真空溫度傳感器

RGB LED 彩色壓力指示燈

可選耐腐蝕版本

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點）

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點）

11 繼電器 2 公共端

12 繼電器 2 常開（常開觸點）

13 繼電器 3 常開（常開觸點）或模擬輸出 2

14 繼電器 3 公共端

15 繼電器 3 常開（常開觸點）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉 USB，9 針 D 型超微，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D 型超微，電源 (90 至 230 VAC)

產地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

測量原理 1×10^-6 至 1.5 mbar：MEMS 皮拉尼熱導率（熱損失）

測量原理 2 至 1,333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片（與氣體無關）

測量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS 皮拉尼/壓電讀數

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5：讀數的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99 mbar：讀數的 5 %

精度 10.0 至 99.9 mbar：讀數的 1 %

精度 100 至 800 mbar：讀數的 0.5 %

精度 800 至 1,099 mbar：讀數的 0.25 %

精度 1,100 至 1,333 mbar：讀數的 0.5 %

Max測量分辨率：1.0E^-7 mbar

氣壓測量范圍：300 至 1,200 mbar

氣壓精度：+/- 0.5 mbar

大氣參考壓力輸出范圍：-1333 至 + 300 mbar

真空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85℃

真空溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

傳感器溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

傳感器溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

溫度補償：+10 至 +50 ℃

輸出信號 1：1 VDC / 十進制（1.0E^-6 mbar 時為 0.5VDC）

輸出信號 2（MKS 901P、910、925 仿真）：1 VDC /10 年（1.0E^-5 托時為 1.0 VDC）

輸出信號 3（MKS GP 275 Convectron）：0.375 至 5.659 VDC

輸出信號 4 (MKS 523)：0.5 VDC / 十進制 (MKS 523)

輸出信號 5 (Inficon PSG500, PSG502, PSG510, PSG512)：1.9 - 10 VDC (Inficon PSG55x, Leybold TTR91)

輸出信號 6 (Leybold TTR91, TTR96, TTR101)：1.5 至 8.5 VDC (Pfeiffer TPR260/27x/28x)

輸出信號 7（MKS GP 275 Convectron）：1.9 至 9.1 VDC

輸出信號 8 (MKS GP 390 MicroIon)：0.5 VDC / 10

輸出信號 9（MKS 971、972、974B）：0.5 VDC / 十進制（MKS 971B、972B、974B）

輸出信號 10（Inficon Gemini 輸出 1）：1 VDC / 十進制

輸出信號 11（Inficon Gemini 輸出 2）：1.33 VDC / 十進制

輸出信號 12（Inficon Gemini 輸出 3）：0.6 VDC / 十進制

輸出信號分辨率：16 位 (150 µV)

固態繼電器觸點額定值（可選）：50 V、100 mArms / mADC

固態繼電器觸點耐久性：無限制（無機械磨損）

工作環境溫度：-40 至 +50 ℃ (-40 至 +122 ℉)

介質溫度：-20 至 +50 ℃ (-58 至 122 ℉)

存儲環境溫度：-40 至 +125 ℃ (-40 至 +257 ℉)

Max介質壓力：10 bar

安裝位置：任意

防護等級，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電源電壓：12 至 30 VDC

功耗：350 mW（Max值）

反限性保護：是

過壓保護：是

內部保險絲：100 mA（可熱恢復）

真空工藝法蘭材料：SS 1.4401 / AISI 316 不銹鋼

外殼材料：SS 1.4307 / AISI 304L 不銹鋼 / 鋁 6061

真空暴露材料（介質潤濕）：316 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO₂、Si₃N₄、金、Viton、低放氣環氧樹脂、焊料、RO4305

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：歐盟指令 2015/863

固態設定值控制繼電器認證：UL 認證： 文件 E76270

CSA 認證： 證書 1175739：通過 EN/IEC 60950-1 認證

MTBF（平均故障間隔時間）：13.092.170 小時/1494 年

故障率 FIT（及時故障，時間=10E+9 小時）：76,38

負載鎖控制、半導體加工、PVD 涂層、分析儀器、真空爐、空間模擬