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          VAT閘閥14.0
          • VAT閘閥14.0

          VAT閘閥14.0

          • 品  牌:VAT
          • 型  號:14.0
          • 技術資料:
          • 閱讀次數:801

          產品介紹

          14.0 HV閘閥系列專為標準高循環真空工藝中的可靠隔離而設計。該系列滿足耐用性、模塊化和可維護性的標準要求,特別注重高運行時間和低擁有成本。

          14.0 HV閘閥配備專為實現閘板密封無摩擦可靠密封而開發的VATLOCK技術。VATLOCK機構通過在關閉端位實現機械鎖定,有效防止閥門故障。

          該系列已在數千個嚴苛工藝條件下成功應用,其卓絕可靠性經受住考驗。DN63-400mm(2.5“-16”)規格已成為高真空隔離領域的行業標桿。

          憑借其堅固耐用的無潤滑設計,該閥門完全滿足高真空閘閥的可靠性要求。14.0型專為ultra-high工藝循環次數設計,真正樹立了行業標桿。

          14.0系列提供多種驅動方式與法蘭連接方案,可輕松集成至各類真空系統。更配備豐富特殊選項:粗抽口、排氣口、壓力表接口等接口配置,以及多種密封材料方案,確保完整適配不同應用場景。

          14.0 HV閘閥提供手動、氣動及帶電磁閥的三位置氣動版本,可作為車載解決方案或用于外部安裝。電磁閥標準電壓為24 VDC,其他電壓可按要求提供。

          法蘭連接的標準選項包括ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA及JIS。可集成帶/不帶水冷功能的客戶定制法蘭。

          性能特點

          可靠、久經考驗的設計

          無需潤滑劑

          VATLOCK技術,具備故障安全防護功能

          堅固耐用的不銹鋼主體

          高循環設計

          性能可靠

          延長免維護周期

          低擁有成本

          技術參數

          產地

          瑞士

          尺寸

          DN 63(2½英寸)、DN 80(3英寸)、DN 100(4英寸)、DN 160(6英寸)、DN 200(8英寸)、DN 250(10英寸)、DN 320(12英寸)、DN 400(16英寸)

          閥體材質

          不銹鋼

          穿管結構

          旋轉穿管

          標準法蘭

          ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS

          壓力范圍

          1×10?? mbar 至 2 bar (abs) (DN 63 – 200)

          1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 400)

          初次維護前循環次數

          200 000

          加熱/冷卻速率

          ≤ 50 °C/h

          安裝位置

          任意方向(DN 63 – 350)

          水平方向(DN 400)

          電磁閥

          24 VDC, 2.5 W(其他規格可定制)

          閥位指示

          可視(機械式)

          執行機構

          三位置氣動:雙作用

          手動:帶杠桿或手輪

          泄漏率

          閥體:< 1 × 10?? mbar·l/s

          閥座:< 1 × 10?? mbar·l/s

          壓差

          閘閥端

          ≤ 2 bar (DN 63 – 200)

          ≤ 1.2 bar (DN 250 – 400)

          開啟時

          ≤ 30 mbar

          溫度

          閥體:≤ 150 °C

          氣動執行器:≤ 50 °C

          手動執行器:≤ 80 °C

          電磁閥:≤ 50 °C

          位置指示器:≤ 80 °C

          材質

          閥體

          AISI 304 (1.4301)

          傳動機構

          AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301)

          AISI 316L (1.4404), AISI 420 (1.4034)

          密封

          閥蓋、閘板:FKM (氟橡膠)

          位置指示器:觸點額定值

          電壓:≤ 250 VAC  ≤ 50 VDC

          電流:≤ 5 A  ≤ 3 A

          產品應用

          半導體制造

          用于基質轉移、過程隔離和真空系統控制,確保晶圓加工過程中的真空環境穩定性。

          兼容高循環真空工藝,滿足長運行時間和低購置成本需求。

          顯示器生產

          在干式蝕刻、濺射、薄膜封裝(CVD)、OLED蒸發等工藝中,提供可靠的真空隔離。

          快速響應特性減少工藝延遲,提升生產效率。

          科研與工業領域

          空間模擬:19.2系列大型閘閥(DN 400-1250 mm)支持超大尺寸真空隔離,壓力達 1 × 10?¹? mbar。

          真空爐與運輸:全金屬閥設計適應惡劣溫度和輻射條件,確保真空系統長期穩定運行。


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