VAT角閥29.2

具有軟泵功能的閥門主要要求是避免湍流。當閥門開啟時，湍流可能因顆粒旋轉而對負載鎖（LL）腔室的抽真空過程產(chǎn)生負面影響。此外，閥門開啟時因高壓差導致的快速壓力變化可能引發(fā)突發(fā)冷凝效應，同樣會對工藝參數(shù)造成不利影響。

29.2 HV軟泵角閥可有效規(guī)避此問題。

29.2型軟泵功能使其特別適用于需在寬導電率范圍內準確校準的大流量工況。通過將兩組高真空角閥集成于緊湊結構中——主閥與旁通閥協(xié)同工作——實現(xiàn)了寬導電率覆蓋范圍。

閥體側面的調節(jié)輪可精細調節(jié)軟泵效果，從而在極寬導電率范圍內實現(xiàn)與目標工藝參數(shù)的完整匹配。

為確保簡單精細的調節(jié)與便捷復位，調節(jié)輪設有11個定位刻度。此設計既保障了參數(shù)設置的可重復性，也便于將相同參數(shù)復制應用于其他閥門。

在此設計中，29.2型憑借其在精度與緊湊結構方面的卓絕性能表現(xiàn)脫穎而出。其他配置需通過多組閥門和額外管路才能實現(xiàn)的功能，29.2型僅憑單一解決方案即可達成。

針對易產(chǎn)生冷凝的溫度敏感工藝，29.2型可配備集成式PTC加熱器。

尤其在太陽能電池或顯示器制造等高要求應用場景中，當負載鎖室容積較大且壓力條件變化時，29.2系列已充分展現(xiàn)其卓絕的“軟啟動”特性。

雙軟啟動功能的附加優(yōu)勢在于能顯著降低或消除脈沖噪聲，從而營造更安靜的生產(chǎn)/操作環(huán)境。

29.2高壓角閥配備軟泵功能，基于可靠堅固的核心結構設計，可實現(xiàn)長期免維護運行。若需維護，操作簡便快捷。

29.2系列提供多種主閥與旁通閥組合方案：DN 100 mm主閥搭配DN 25 mm旁通閥，DN 160 mm主閥可選配DN 25、DN 40或DN 63 mm旁通閥。氣動執(zhí)行器提供兩種類型：帶關閉彈簧的單作用型（常閉）與雙作用型。該系列產(chǎn)品提供鋁制或不銹鋼材質選擇。

標準法蘭連接選項包含ISO-KF和ISO-K，亦可集成定制法蘭。視覺位置指示器與電位輸出信號均為標準配置。

可調軟啟動功能

主閥與旁通閥組合配置

軟啟動參數(shù)輕松復現(xiàn)

高壓差工況下仍保持全功能運行

有效避免湍流與冷凝現(xiàn)象

大導電率范圍配合精細校準

超長免維護運行周期

快速便捷的維護操作

半導體制造

在芯片生產(chǎn)中，29.2型號可能用于真空腔體的氣體控制，其高密封性和低放氣率可避免工藝污染，確保晶圓加工精度。

真空鍍膜設備

鍍膜過程中需準確調節(jié)氣體流量與壓力，29.2型號的耐高壓差特性可穩(wěn)定維持真空環(huán)境，提升膜層均勻性。

科研與高真空系統(tǒng)

實驗室或工業(yè)研究中的高真空場景（如粒子加速器、表面分析儀器）對閥門可靠性要求高，29.2型號的長期免維護設計可降低停機風險。