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VAT擺動控制閥65.5
- 品 牌：VAT
- 型 號：65.5
- 技術資料：
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產品介紹
65.5 HV擺動控制閥提供卓絕的高可控導電率范圍。其關鍵特性還在于平滑的啟閉運動，可實現極低的顆粒計數和低顆粒活化水平。
該閥門專為半導體生產工藝中的腐蝕性蝕刻和清洗等惡劣工況設計，在需要高可控導電率范圍且初始可控導電率較低的應用場景中表現優異。
65.5閥門提供DN 250mm（10英寸）規格，lowest導通量可控至2 l s?¹。憑借32位執行器控制器的數據處理能力，導通量增量可實現極精細調控。其傳感器與控制指令處理速度優于同等16位控制器，從而提供更快的執行響應。控制器配備多種標準端口接口，可輕松連接個人電腦或過程控制單元。
擺動閘門機構采用高度堅固的設計，確保能抵御任何工藝副產物的影響。為減少密封件磨損并避免顆粒產生及活化，其啟閉運動被分段實施：初始導流階段通過閘門垂直遠離閘座實現，后續導流增強則依靠閘門水平擺動完成。憑借閘門運動的精細可控性，預設運動序列可準確匹配工藝需求。通過專利設計的專用壓緊桿將閘門壓向閥座，確保閘門各區域均獲得均勻密封壓力，實現完全密封關閉。
65.5系列采用緊湊設計，支持直接安裝及多種其他配置選項，可輕松集成于各類真空工藝流程。
65.5 HV擺動控制閥提供空白或硬質陽極氧化鋁材質，配備符合ISO-F和JIS標準的法蘭連接件。可集成客戶定制法蘭，并可加裝加熱器以滿足高達120°C的閥門工作溫度需求。
性能特點
在惡劣工藝環境中實現可靠隔離
低沖擊運行，低顆粒活化
工藝惰性——極低殘余脫氣量（RGA）
快速可調操作
內置壓力控制器
僅需單一電源供電，可選配傳感器電源
卓絕的壓力控制性能
快速運行，幾乎無顆粒產生
可根據工藝要求調節
產品結構與細節
- 閘板
- 執行器軸
- 雙軸執行器
- 執行器穿壁密封件
- 閘板密封件
技術參數
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產地 |
瑞士 |
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尺寸 |
DN 250 (10") |
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執行器 |
帶伺服驅動的集成壓力控制器 |
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閥體材料 |
鋁坯或硬質陽極氧化鋁 |
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穿墻件 |
旋轉穿墻件 |
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標準法蘭 |
ISO-F、JIS |
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安裝位置 |
任意 |
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泄漏率閥體 |
鋁坯：< 1 × 10?? mbar·s?¹ |
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硬質陽極氧化鋁：< 1 × 10?? mbar·s?¹ |
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閥座泄漏率 |
鋁坯：< 1 × 10?? mbar·ls?¹ |
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硬質陽極氧化鋁：< 1 × 10?? mbar·ls?¹ |
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壓力范圍 |
鋁坯：1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) |
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硬質陽極氧化鋁：1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) |
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溫度 |
閥體：≤ 120 °C |
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控制器：highest 50 °C（引薦 ≤ 35 °C） |
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材質 |
閥體、閥板：EN AW-6061 (3.2311) T651 |
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其他部件：AISI 316L（1.4404, 1.4435） |
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閥板連接螺釘：SST A4-80，鍍鎳聚四氟乙烯（Ni-PTFE） |
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密封件 |
閥蓋、閥板體穿壁件：氟橡膠（FKM/Viton） |
產品應用
半導體制造：在腐蝕性刻蝕和清潔工藝中，65.5系列閥門通過精細流導控制，減少粒子污染，提升良品率。
顯示器生產：其低沖擊運行特性避免對敏感顯示層的損傷，確保生產穩定性。
真空傳輸系統：緊湊設計和可靠密封性能，使其成為真空傳輸環節的理想選擇。
津公網安備12010102000945號
