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MSG聚焦與跟蹤系統LAF5-CH

MSG聚焦與跟蹤系統LAF5-CH

品　　牌：MSG
型　　號：LAF5-CH
技術資料： MSG聚焦與跟蹤系統LAF5-CH.pdf
閱讀次數：3184

產品介紹

結合了工業顯微鏡和AOI系統的線激光和基于圖像的自動聚焦和跟蹤。MSG圖像自動聚焦作為一個跟蹤聚焦，而不像典型的對比度圖像聚焦。通過根據表面自動選擇聚焦方法，獲得更加穩健的聚焦結果。

控制接口步進/伺服電機。適用于放大2倍至100倍的校正透鏡，VIS、NIR、NUV、DUV。UI界面和軟件庫。

性能特點

我們的技術能夠自動聚焦于：

具有高對比度變化的圖案表面
具有高倍率透鏡的更小結構
折射率變化的材料，如夾層/分層基材

3種不同的操作模式。

具有高速和高工作范圍的激光自動聚焦模式
圖像自動對焦模式可提高精度

混合自動聚焦模式，可智能選擇激光或圖像聚焦，以優化速度和精度，幾乎消除激光壞點問題，同時仍能準確跟蹤

該系統具有完整的Z軸閉環系統，帶有傳感器和電機控制。它帶有一個軟件界面，便于設置、使用和診斷所有必要的傳感器和電機參數。易于集成到現有軟件架構中。

技術參數

	參考APO計劃無限顯微鏡物鏡（示例）
放大倍數	5x	10x	20x	50x	100x
DOF	14µm	3.5µm	1.6µm	0.9µm	0.6µm
采樣率激光器	max.5kHz
采樣率視頻	250幀/秒，MAX，連續
工作范圍激光	±12000µm	±4000µm	±1500µm	±500µm	±150µm
工作范圍視頻	±5000µm	±1000µm	±400µm	±100µm	±20µm
精度*	激光模式：0.5鏡頭自由度，視頻0.25鏡頭自由度
激光	二極管激光器660nm，IIIR類<2mW，前置透鏡
工作溫度	+5°C至+50°C
光束形狀	45°傾斜激光線
傳感器+電纜重量			400g
接口重量			400g
推薦BS			50/50
激光AF周期時間			0.1s		自動跟蹤
圖像AF周期時間			0.4s		自動跟蹤
混合AF循環時間			0.2s		自動跟蹤
電源	In	僅+12V DC傳感器，24-48V，帶控制器LAF-C
可選距離輸出	模擬	0-10V和-10+10V，通過RS232
信號質量輸出	模擬	0-10V，通過RS232
通信	數字	RS232
激光器開/關	In	TTL	&通過RS232
照相機同步	In	TTL
*所有數據均指激光用普通玻璃的測量值和視頻用標準圖案

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